規(guī)范詳解：氮?dú)獯祾?/h1>
大家好，我在網(wǎng)上看到2個(gè)微信公眾號(hào)發(fā)布的一個(gè)2013年發(fā)生在無(wú)錫的火災(zāi)，發(fā)生在海力士公司M01生產(chǎn)大樓的F04車間二層，火災(zāi)主要燒毀晶圓制造設(shè)備，廠房，以及位于5層露天區(qū)的環(huán)保系統(tǒng)，造成財(cái)產(chǎn)損失巨大，約為10億美元，導(dǎo)致DRAM生產(chǎn)線全面停產(chǎn)，全球DRAM存儲(chǔ)芯片價(jià)格大幅上漲42%。
起火原因：TV23號(hào)氣柜最上層控制箱內(nèi)吹入的保持正壓的氮?dú)忮e(cuò)接為氫氣，氫氣噴出在控制箱內(nèi)形成爆炸性混合物，遇靜電火花產(chǎn)生爆燃，引起火災(zāi)。
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在微信公眾號(hào)的文章中，我看到了導(dǎo)致事故原因的其中一項(xiàng)是沒(méi)有進(jìn)行“氮?dú)獯祾摺钡臋z查。
我在各個(gè)規(guī)范中以“氮?dú)獯祾摺睘殛P(guān)鍵詞檢索條文，檢索出下面3本規(guī)范中提及“氮?dú)獯祾摺眱?nèi)容的條文進(jìn)行展示（部分規(guī)范未展示）。
一、《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范 》GB50646-2011
4.1一般規(guī)定
4.1.1 特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列主要裝置：
1 儲(chǔ)存、供氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格；
2 氣體分配用閥門箱、閥門盤；
3 輔助氮?dú)獯祾?/span>系統(tǒng)；
4 尾氣處理裝置。
條文說(shuō)明
4.1.1～4.1.2 特種氣體輸送系統(tǒng)是電子工廠中危險(xiǎn)性最大的設(shè)施或場(chǎng)所，一旦特種氣體系統(tǒng)發(fā)生泄漏都可能造成人員、廠房、設(shè)備的嚴(yán)重?fù)p失。如特種氣體中的硅烷為自燃性，一旦泄漏就會(huì)與空氣中的氧氣發(fā)生劇烈反應(yīng)，開始燃燒。砷烷為劇毒性，微量泄漏就可能造成人員的生命危險(xiǎn)。這些顯而易見的危險(xiǎn)，對(duì)于系統(tǒng)設(shè)計(jì)的安全性要求就十分嚴(yán)格。
特種氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)保證生產(chǎn)工藝設(shè)備對(duì)流量、壓力、溫度等的工藝參數(shù)要求。
為了精確控制流量、壓力、溫度等參數(shù)，在氣源一端一般應(yīng)配置高精度的流量計(jì)、壓力變送器、電子秤、溫控器等。對(duì)于大宗特種氣體系統(tǒng)，不但要考慮管路壓降和液化鋼瓶蒸發(fā)吸熱對(duì)流量的影響，還要考慮特種氣體經(jīng)過(guò)調(diào)壓閥減壓后的焦耳-湯普遜效應(yīng)。
一般而言，氣體減壓后，溫度會(huì)降低，甚至液化，這會(huì)造成輸送壓力的不穩(wěn)定以及管路系統(tǒng)的損壞。
因此需要考慮在減壓前對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)熱。在管路及其附件的材質(zhì)選擇、管路催掃、測(cè)試檢驗(yàn)等每一個(gè)環(huán)節(jié)應(yīng)采取措施，使特種氣體工藝的設(shè)計(jì)滿足電子工廠生產(chǎn)工藝的要求。
例如在更換鋼瓶后，可能有一段管路被外界氣體污染，所以要求管路設(shè)計(jì)應(yīng)滿足對(duì)此段管路以氮?dú)膺M(jìn)行反復(fù)沖吹，使其符合供應(yīng)質(zhì)量的要求，為此，特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)將鋼瓶置于氣瓶柜內(nèi)或氣瓶架上，并在需要特種氣體的生產(chǎn)工藝設(shè)備臨近處設(shè)置閥門箱、閥門盤，輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)、尾氣處理裝置，以保證特種氣體系統(tǒng)的安全和工藝對(duì)特種氣體質(zhì)量的要求。
5.1.5 硅烷系統(tǒng)應(yīng)采用獨(dú)立的惰性氣體鋼瓶進(jìn)行吹掃，不得采用管道氮?dú)獯祾摺?/span>
12.5.2 特種氣體管道連接應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 管道連接應(yīng)使用自動(dòng)軌道氬弧焊，所用氬氣純度不得小于99.999%,焊接用氣體應(yīng)加裝可調(diào)節(jié)流量計(jì)顯示氣體流量，內(nèi)保護(hù)氣應(yīng)裝壓力計(jì)監(jiān)測(cè)管內(nèi)壓力；
2 工作人員應(yīng)穿戴潔凈服、潔凈口罩、潔凈無(wú)塵手套在潔凈室內(nèi)進(jìn)行下料、焊接、預(yù)制等各項(xiàng)操作，不得用裸手接觸管道的內(nèi)壁；
3 管外徑小于等于12.7mm的管道切割可使用不銹鋼管切管器，切割后應(yīng)以平口機(jī)處理管口，并用專用倒角器去除管口內(nèi)外毛刺，切口端面應(yīng)垂直、不變形，滿足不加絲自動(dòng)焊要求。不得使用塑料管割刀替代；
4 平口機(jī)加工余量為壁厚的1/10～1/5，加工時(shí)用高純氮?dú)獯祾?/span>。加工后將切口向下，并在另一端用高純氮?dú)饪焖俅祾?/span>，不得將剛切割的管口向上；
5 管外徑大于12.7mm的管道切割應(yīng)采用不銹鋼管潔凈專用切割機(jī)，切割時(shí)不得使用潤(rùn)滑油；切口端面應(yīng)垂直、無(wú)毛刺、不變形；滿足不加絲自動(dòng)焊要求；不得使用手工鋸、砂輪切割機(jī)切割；
6 管道切管作業(yè)時(shí)，應(yīng)在管內(nèi)通入高純氮?dú)?，并不得損傷管道外壁；
7 管道倒角作業(yè)時(shí)，不應(yīng)損傷管道內(nèi)壁，并不得采用什錦銼對(duì)管道進(jìn)行倒角；
8 管道吹掃完畢，應(yīng)使用不產(chǎn)塵的潔凈布沾上異丙醇或酒精將切口部清洗干凈，必須迅速用潔凈防塵帽或潔凈紙膠帶將管道口封堵；
9 配管切割結(jié)束后，剩余管材應(yīng)以潔凈防塵帽封堵后裝入包裝袋中；
10 對(duì)接焊口應(yīng)確保接口處兩側(cè)的管道中心在同一直線上，管線不得在焊口的位置彎曲；
11 焊接過(guò)程中應(yīng)保持管道、管件處于靜止?fàn)顟B(tài)，焊接電源必須采用穩(wěn)定的專用電源并加裝穩(wěn)壓器；
12 管道預(yù)制焊接總長(zhǎng)度不應(yīng)超過(guò)12m，預(yù)制時(shí)應(yīng)放置在專用支座上，支點(diǎn)數(shù)量不得少于4個(gè)；管道運(yùn)輸時(shí)每3m長(zhǎng)度應(yīng)設(shè)一個(gè)支點(diǎn)；
13 大口徑特種氣體管道焊接前應(yīng)先采用手工氬弧焊機(jī)進(jìn)行不加絲點(diǎn)焊預(yù)連接，點(diǎn)焊時(shí)管內(nèi)應(yīng)通入高純氬氣進(jìn)行保護(hù)，點(diǎn)焊后應(yīng)對(duì)焊點(diǎn)進(jìn)行潔凈處理，采用自動(dòng)焊接對(duì)準(zhǔn)裝置除外。
二、《鋼鐵冶金企業(yè)設(shè)計(jì)防火標(biāo)準(zhǔn)》 GB50414-2018
6.13.5 使用燃?xì)獾脑O(shè)施和裝置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 當(dāng)燃燒裝置采用強(qiáng)制送風(fēng)的燒嘴時(shí)，應(yīng)在空氣管道上設(shè)置泄爆閥；
2 使用氫氣的熱處理爐應(yīng)設(shè)置氧氣分析儀以及顯示和報(bào)警裝置、氫氣供應(yīng)自動(dòng)切斷裝置、氮?dú)獯祾叻派⒀b置；
3 使用燃?xì)獾臓t、窯點(diǎn)火器宜設(shè)置火焰監(jiān)測(cè)裝置；
4 鋼材切割點(diǎn)采用乙炔氣體時(shí)，應(yīng)設(shè)置崗位回火防止器；采用其他燃?xì)饨橘|(zhì)時(shí)，宜設(shè)置崗位回火防止器；
5 煉鋼連鑄工序用于切割的氧氣、乙炔、煤氣或液化石油氣的管道上宜設(shè)置緊急切斷閥。
三、《細(xì)水霧滅火系統(tǒng)技術(shù)規(guī)范》 GB50898-2013
4.4.10 系統(tǒng)調(diào)試合格后，應(yīng)按本規(guī)范表D.0.6填寫調(diào)試記錄，并應(yīng)用壓縮空氣或氮?dú)獯祾?/span>，將系統(tǒng)恢復(fù)至準(zhǔn)工作狀態(tài)。
大家好，我在網(wǎng)上看到2個(gè)微信公眾號(hào)發(fā)布的一個(gè)2013年發(fā)生在無(wú)錫的火災(zāi)，發(fā)生在海力士公司M01生產(chǎn)大樓的F04車間二層，火災(zāi)主要燒毀晶圓制造設(shè)備，廠房，以及位于5層露天區(qū)的環(huán)保系統(tǒng)，造成財(cái)產(chǎn)損失巨大，約為10億美元，導(dǎo)致DRAM生產(chǎn)線全面停產(chǎn)，全球DRAM存儲(chǔ)芯片價(jià)格大幅上漲42%。
起火原因：TV23號(hào)氣柜最上層控制箱內(nèi)吹入的保持正壓的氮?dú)忮e(cuò)接為氫氣，氫氣噴出在控制箱內(nèi)形成爆炸性混合物，遇靜電火花產(chǎn)生爆燃，引起火災(zāi)。
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在微信公眾號(hào)的文章中，我看到了導(dǎo)致事故原因的其中一項(xiàng)是沒(méi)有進(jìn)行“氮?dú)獯祾摺钡臋z查。
我在各個(gè)規(guī)范中以“氮?dú)獯祾摺睘殛P(guān)鍵詞檢索條文，檢索出下面3本規(guī)范中提及“氮?dú)獯祾摺眱?nèi)容的條文進(jìn)行展示（部分規(guī)范未展示）。
一、《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范 》GB50646-2011
4.1一般規(guī)定
4.1.1 特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列主要裝置：
1 儲(chǔ)存、供氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格；
2 氣體分配用閥門箱、閥門盤；
3 輔助氮?dú)獯祾?/span>系統(tǒng)；
4 尾氣處理裝置。
條文說(shuō)明
4.1.1～4.1.2 特種氣體輸送系統(tǒng)是電子工廠中危險(xiǎn)性最大的設(shè)施或場(chǎng)所，一旦特種氣體系統(tǒng)發(fā)生泄漏都可能造成人員、廠房、設(shè)備的嚴(yán)重?fù)p失。如特種氣體中的硅烷為自燃性，一旦泄漏就會(huì)與空氣中的氧氣發(fā)生劇烈反應(yīng)，開始燃燒。砷烷為劇毒性，微量泄漏就可能造成人員的生命危險(xiǎn)。這些顯而易見的危險(xiǎn)，對(duì)于系統(tǒng)設(shè)計(jì)的安全性要求就十分嚴(yán)格。
特種氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)保證生產(chǎn)工藝設(shè)備對(duì)流量、壓力、溫度等的工藝參數(shù)要求。
為了精確控制流量、壓力、溫度等參數(shù)，在氣源一端一般應(yīng)配置高精度的流量計(jì)、壓力變送器、電子秤、溫控器等。對(duì)于大宗特種氣體系統(tǒng)，不但要考慮管路壓降和液化鋼瓶蒸發(fā)吸熱對(duì)流量的影響，還要考慮特種氣體經(jīng)過(guò)調(diào)壓閥減壓后的焦耳-湯普遜效應(yīng)。
一般而言，氣體減壓后，溫度會(huì)降低，甚至液化，這會(huì)造成輸送壓力的不穩(wěn)定以及管路系統(tǒng)的損壞。
因此需要考慮在減壓前對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)熱。在管路及其附件的材質(zhì)選擇、管路催掃、測(cè)試檢驗(yàn)等每一個(gè)環(huán)節(jié)應(yīng)采取措施，使特種氣體工藝的設(shè)計(jì)滿足電子工廠生產(chǎn)工藝的要求。
例如在更換鋼瓶后，可能有一段管路被外界氣體污染，所以要求管路設(shè)計(jì)應(yīng)滿足對(duì)此段管路以氮?dú)膺M(jìn)行反復(fù)沖吹，使其符合供應(yīng)質(zhì)量的要求，為此，特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)將鋼瓶置于氣瓶柜內(nèi)或氣瓶架上，并在需要特種氣體的生產(chǎn)工藝設(shè)備臨近處設(shè)置閥門箱、閥門盤，輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)、尾氣處理裝置，以保證特種氣體系統(tǒng)的安全和工藝對(duì)特種氣體質(zhì)量的要求。
5.1.5 硅烷系統(tǒng)應(yīng)采用獨(dú)立的惰性氣體鋼瓶進(jìn)行吹掃，不得采用管道氮?dú)獯祾摺?/span>
12.5.2 特種氣體管道連接應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 管道連接應(yīng)使用自動(dòng)軌道氬弧焊，所用氬氣純度不得小于99.999%,焊接用氣體應(yīng)加裝可調(diào)節(jié)流量計(jì)顯示氣體流量，內(nèi)保護(hù)氣應(yīng)裝壓力計(jì)監(jiān)測(cè)管內(nèi)壓力；
2 工作人員應(yīng)穿戴潔凈服、潔凈口罩、潔凈無(wú)塵手套在潔凈室內(nèi)進(jìn)行下料、焊接、預(yù)制等各項(xiàng)操作，不得用裸手接觸管道的內(nèi)壁；
3 管外徑小于等于12.7mm的管道切割可使用不銹鋼管切管器，切割后應(yīng)以平口機(jī)處理管口，并用專用倒角器去除管口內(nèi)外毛刺，切口端面應(yīng)垂直、不變形，滿足不加絲自動(dòng)焊要求。不得使用塑料管割刀替代；
4 平口機(jī)加工余量為壁厚的1/10～1/5，加工時(shí)用高純氮?dú)獯祾?/span>。加工后將切口向下，并在另一端用高純氮?dú)饪焖俅祾?/span>，不得將剛切割的管口向上；
5 管外徑大于12.7mm的管道切割應(yīng)采用不銹鋼管潔凈專用切割機(jī)，切割時(shí)不得使用潤(rùn)滑油；切口端面應(yīng)垂直、無(wú)毛刺、不變形；滿足不加絲自動(dòng)焊要求；不得使用手工鋸、砂輪切割機(jī)切割；
6 管道切管作業(yè)時(shí)，應(yīng)在管內(nèi)通入高純氮?dú)?，并不得損傷管道外壁；
7 管道倒角作業(yè)時(shí)，不應(yīng)損傷管道內(nèi)壁，并不得采用什錦銼對(duì)管道進(jìn)行倒角；
8 管道吹掃完畢，應(yīng)使用不產(chǎn)塵的潔凈布沾上異丙醇或酒精將切口部清洗干凈，必須迅速用潔凈防塵帽或潔凈紙膠帶將管道口封堵；
9 配管切割結(jié)束后，剩余管材應(yīng)以潔凈防塵帽封堵后裝入包裝袋中；
10 對(duì)接焊口應(yīng)確保接口處兩側(cè)的管道中心在同一直線上，管線不得在焊口的位置彎曲；
11 焊接過(guò)程中應(yīng)保持管道、管件處于靜止?fàn)顟B(tài)，焊接電源必須采用穩(wěn)定的專用電源并加裝穩(wěn)壓器；
12 管道預(yù)制焊接總長(zhǎng)度不應(yīng)超過(guò)12m，預(yù)制時(shí)應(yīng)放置在專用支座上，支點(diǎn)數(shù)量不得少于4個(gè)；管道運(yùn)輸時(shí)每3m長(zhǎng)度應(yīng)設(shè)一個(gè)支點(diǎn)；
13 大口徑特種氣體管道焊接前應(yīng)先采用手工氬弧焊機(jī)進(jìn)行不加絲點(diǎn)焊預(yù)連接，點(diǎn)焊時(shí)管內(nèi)應(yīng)通入高純氬氣進(jìn)行保護(hù)，點(diǎn)焊后應(yīng)對(duì)焊點(diǎn)進(jìn)行潔凈處理，采用自動(dòng)焊接對(duì)準(zhǔn)裝置除外。
二、《鋼鐵冶金企業(yè)設(shè)計(jì)防火標(biāo)準(zhǔn)》 GB50414-2018
6.13.5 使用燃?xì)獾脑O(shè)施和裝置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 當(dāng)燃燒裝置采用強(qiáng)制送風(fēng)的燒嘴時(shí)，應(yīng)在空氣管道上設(shè)置泄爆閥；
2 使用氫氣的熱處理爐應(yīng)設(shè)置氧氣分析儀以及顯示和報(bào)警裝置、氫氣供應(yīng)自動(dòng)切斷裝置、氮?dú)獯祾叻派⒀b置；
3 使用燃?xì)獾臓t、窯點(diǎn)火器宜設(shè)置火焰監(jiān)測(cè)裝置；
4 鋼材切割點(diǎn)采用乙炔氣體時(shí)，應(yīng)設(shè)置崗位回火防止器；采用其他燃?xì)饨橘|(zhì)時(shí)，宜設(shè)置崗位回火防止器；
5 煉鋼連鑄工序用于切割的氧氣、乙炔、煤氣或液化石油氣的管道上宜設(shè)置緊急切斷閥。
三、《細(xì)水霧滅火系統(tǒng)技術(shù)規(guī)范》 GB50898-2013
4.4.10 系統(tǒng)調(diào)試合格后，應(yīng)按本規(guī)范表D.0.6填寫調(diào)試記錄，并應(yīng)用壓縮空氣或氮?dú)獯祾?/span>，將系統(tǒng)恢復(fù)至準(zhǔn)工作狀態(tài)。